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beyondspirit

新虫 (小有名气)

[交流] 怎样合理的利用SEM拍出一张让自己满意的照片? 已有4人参与

本人长期从事于扫描电镜的检测工作。故在此和大家聊聊如何合理的利用扫描电镜排除一张让自己满意,让别人满意,也让编辑满意的照片。做SEM,说起来也简单,制样,设置条件,拍照,保存也就OK了。但是真做起来就不死那回事了。
        制样没有什么多说的,只要注意样品要干燥并粘牢,其次对于需要腐蚀或者离子减薄的样,那就要看自己的技术了。在电镜操作这方面,首先要保证仪器的正常运行,下来就看操作水平了。这其中包括拍照时参数的设定,样品中具有代表行位置的选定以及消象散,亮度对比度的调节这几个方面。我现在使用的是HITACHI SU8010高分辨冷场发射扫描电镜,配备的是EDAX EDS。拍照时建议的WD=80mm,倾斜角度为-5至55,加速电压为0-30KV,Ie为1-20uA。
        拍照时,参数需设定在一个合理的范围,我一般使用时,对于无极金属样品,加速电压设定在1-5KV之间,Ie设定在10-20uA之间。聚光镜选择2档,物镜选择3档,对于需要高倍数拍照时(大于100K),我选择把物镜调制4档。拍照处需满足以下几点要求:1.所选择观察的部位应具有科学意义,即所观察到的形貌能说明某项研究问题的实质。2. 所选择观察部位的画面和角度应符合美学的观点,即要有良好的构图效果。3.如果满足上述条件的观察部位有多个地区可供选择,则应选取白色区域的部位,以期图像具有较大的信噪比。
        在调节时,先Focus,在进行消象散,这个步骤可以重复进行,直至达到图像不发生明显的左右或上下晃动即可(这是个技术活,更是个耐心活,容易急躁的人是调不好这个的),然后反过来继续Focus,下来就是调亮度对比度。这就差不多了。当然,我说的很简单,也很肤浅。专家看了请别笑话,如有兴趣,请指导一二。不是同行的看了,那就捧个人场。
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2楼2016-09-21 09:39:17
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3楼2016-09-22 20:37:33
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Doristar

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有联系方式吗,可以私下交流
4楼2016-11-06 17:34:48
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beyondspirit

新虫 (小有名气)

5楼2016-11-06 18:31:05
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Q版萌包子

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
很棒,谢谢楼主的分享。如果以后自己做扫面电镜的话也能有个参考了
6楼2017-08-23 09:27:27
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