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旋涂制膜大神看过来。。旋涂金属氧化物薄膜出现孔洞。。。
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| 乙二醇甲醚溶剂，硝酸铟水合物，，30℃搅拌12h，静置12h，过滤，生长有SiO2的Si衬底，旋涂镀膜，5000rpm/25s，取下拿去退火过程薄膜表面发现变化，放在退火炉上，150摄氏度预退火过程出现小孔洞。。求原因。。 |
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