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[求助]
旋涂制膜大神看过来。。旋涂金属氧化物薄膜出现孔洞。。。
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| 乙二醇甲醚溶剂,硝酸铟水合物,,30℃搅拌12h,静置12h,过滤,生长有SiO2的Si衬底,旋涂镀膜,5000rpm/25s,取下拿去退火过程薄膜表面发现变化,放在退火炉上,150摄氏度预退火过程出现小孔洞。。求原因。。 |
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