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00121058

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 有什么试剂可以测出硅片中某种元素的含量吗

有什么试剂可以测出硅片中某种元素的含量吗
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周海锋

新虫 (初入文坛)

2楼2016-09-14 15:58:35
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00121058

铁杆木虫 (小有名气)

我想看多晶硅的凝固界面的形貌,界面处的杂质浓度跟固相存在差异,我想使用腐蚀液把界面的形貌显示出来

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3楼2016-09-14 18:15:32
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00121058

铁杆木虫 (小有名气)

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2楼: Originally posted by 周海锋 at 2016-09-14 15:58:35
?能否说的更清楚些

我想通过杂质在凝固界面的浓度差异,使用某种腐蚀液把界面的形貌显示出来,有这样的腐蚀液吗?

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4楼2016-09-14 18:22:01
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周海锋

新虫 (初入文坛)

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4楼: Originally posted by 00121058 at 2016-09-14 18:22:01
我想通过杂质在凝固界面的浓度差异,使用某种腐蚀液把界面的形貌显示出来,有这样的腐蚀液吗?
...

多晶硅锭生长,本身就是不断分凝的状态,硅片能看到的杂质分布和固液界面的不太一致,,还是说是要看跳步生长时的固液界面?

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5楼2016-09-14 20:45:02
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00121058

铁杆木虫 (小有名气)

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5楼: Originally posted by 周海锋 at 2016-09-14 20:45:02
多晶硅锭生长,本身就是不断分凝的状态,硅片能看到的杂质分布和固液界面的不太一致,,还是说是要看跳步生长时的固液界面?
...

我做的是定向凝固,沿轴向。随着时间的推移,固液界面沿轴向生长,我现在想画出某一时刻固液界面在径向的形貌,理论上讲应该是一条曲线,我现在就想有实验的方法弄出来,有人是用化学腐蚀法,不管用什么方法,能弄出来吗,

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6楼2016-09-14 21:06:12
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00121058

铁杆木虫 (小有名气)

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6楼: Originally posted by 00121058 at 2016-09-14 21:06:12
我做的是定向凝固,沿轴向。随着时间的推移,固液界面沿轴向生长,我现在想画出某一时刻固液界面在径向的形貌,理论上讲应该是一条曲线,我现在就想有实验的方法弄出来,有人是用化学腐蚀法,不管用什么方法,能弄 ...

也可以说 ,如何识别固液界面,有相关的文献或者书籍吗,谢谢!

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7楼2016-09-14 21:10:31
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周海锋

新虫 (初入文坛)

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6楼: Originally posted by 00121058 at 2016-09-14 21:06:12
我做的是定向凝固,沿轴向。随着时间的推移,固液界面沿轴向生长,我现在想画出某一时刻固液界面在径向的形貌,理论上讲应该是一条曲线,我现在就想有实验的方法弄出来,有人是用化学腐蚀法,不管用什么方法,能弄 ...

我认为做不出来,你的意思是定向凝固生长的硅片,使用化学法剥出原有凸型的固液界面,然后查看固液界面的杂质含量,,但是我没读到同类型实验的文章,或者仿真可以试试

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8楼2016-09-15 05:06:56
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周海锋

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 周海锋 at 2016-09-15 05:06:56
我认为做不出来,你的意思是定向凝固生长的硅片,使用化学法剥出原有凸型的固液界面,然后查看固液界面的杂质含量,,但是我没读到同类型实验的文章,或者仿真可以试试
...

长好的硅锭看不出生长时的固液界面,只有仿真了

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9楼2016-09-15 05:09:02
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00121058

铁杆木虫 (小有名气)

送红花一朵
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8楼: Originally posted by 周海锋 at 2016-09-15 05:06:56
我认为做不出来,你的意思是定向凝固生长的硅片,使用化学法剥出原有凸型的固液界面,然后查看固液界面的杂质含量,,但是我没读到同类型实验的文章,或者仿真可以试试
...

对完全正确,模拟是可以做出来,但是我看到有文献使用化学腐蚀做出来,却故意把试剂的成分省略掉。这种方法确实简单实用。

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10楼2016-09-15 08:31:20
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