应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 利用PECVD进行镀Pt样品清洗实验（PECVD不加热做等离子清洗机用）
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
111/2返回列表12下一页
查看: 1216  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

[求助] 利用PECVD进行镀Pt样品清洗实验（PECVD不加热做等离子清洗机用）

利用PECVD中的等离子射频电源进行镀Pt样品清洗实验（PECVD不加热做等离子清洗机用），发现薄膜没有减薄，反而增厚了，做了3,4次仍然是这个情况，增加厚度一般在1-2nm，怎么回事？？清洗时间设置30min，清洗功率设置30W,气压在9Pa，求大神回复~~
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2016-09-06 14:05:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
清洗时应该有离子轰击薄膜，楼主所描述的情况，应该在基片或薄膜上加入负电压 应该会好些。另，楼主可以做一个对比实验，将薄膜静置30min，不清洗和清洗过的薄膜进行厚度对比。我怀疑出现厚度增加1-2mm的现象是薄膜内应力的结果。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2016-09-07 07:11:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-09-07 07:11:55
清洗时应该有离子轰击薄膜，楼主所描述的情况，应该在基片或薄膜上加入负电压 应该会好些。另，楼主可以做一个对比实验，将薄膜静置30min，不清洗和清洗过的薄膜进行厚度对比。我怀疑出现厚度增加1-2mm的现象是薄膜 ...

您好，我试过用等离子清洗机进行清洗30min，跟PECVD设置参数相同，利用等离子清洗机清洗的样品都会减薄不到1nm，而PECVD则会增厚

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
3楼2016-09-07 11:06:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-09-07 07:11:55
清洗时应该有离子轰击薄膜，楼主所描述的情况，应该在基片或薄膜上加入负电压 应该会好些。另，楼主可以做一个对比实验，将薄膜静置30min，不清洗和清洗过的薄膜进行厚度对比。我怀疑出现厚度增加1-2mm的现象是薄膜 ...

薄膜静置半个小时是在清洗之后静置半个小时再进行测量膜厚么？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
4楼2016-09-07 11:07:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 脸红喽lhl at 2016-09-07 11:07:33
薄膜静置半个小时是在清洗之后静置半个小时再进行测量膜厚么？
...

不清洗，静止30min，测量一下膜厚是否有变化

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2016-09-07 14:40:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

15190052720

新虫 (正式写手)
为什么不用plasma清洗一下。怕pecvdpecvd二次污染

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
6楼2016-09-09 22:04:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

plqIMR

新虫 (正式写手)
清洗是在什么气氛

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
7楼2016-09-10 07:17:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by plqIMR at 2016-09-10 07:17:07
清洗是在什么气氛

空气和氩气都尝试了

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
8楼2016-09-10 13:01:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
内容已删除
回复此楼
9楼2016-09-10 13:01:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

15190052720

新虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 脸红喽lhl at 2016-09-10 13:01:55
只是为了对比一下两者可以换用不可以
...

用的那家pecvd

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
10楼2016-09-10 13:52:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 脸红喽lhl 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 食品工程专硕一志愿中海洋309求调剂 +4 小张zxy张 2026-03-26 8/400 2026-03-28 19:25 by lbsjt
[考研] 本科新能源科学与工程，一志愿华理能动285求调剂 +3 AZMK 2026-03-27 5/250 2026-03-28 16:19 by xxxsssccc
[考研] 085600，材料与化工321分求调剂 +9 大馋小子 2026-03-28 9/450 2026-03-28 14:56 by 神马都不懂
[考研] 材料求调剂一志愿哈工大324 +7 闫旭东 2026-03-28 9/450 2026-03-28 08:51 by Xu de nuo
[材料工程] 一志愿C9材料与化工专业总分300求调剂 +8 曼111 2026-03-24 9/450 2026-03-28 07:58 by YYYYX1234
[考研] 308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-27 7/350 2026-03-28 07:43 by 热情沙漠
[考研] 一志愿华东理工大学081700，初试分数271 +6 kotoko_ik 2026-03-23 7/350 2026-03-27 12:29 by 惠州彭于晏
[考研] 考研调剂 +10 呼呼？~+123456 2026-03-24 10/500 2026-03-27 11:46 by wangjy2002
[考研] 调剂 +3 李嘉图·S·路 2026-03-27 3/150 2026-03-27 11:19 by wangjy2002
[考研] 324求调剂 +5 hanamiko 2026-03-26 5/250 2026-03-27 10:33 by wangjy2002
[考研] 284求调剂 +11 junqihahaha 2026-03-26 12/600 2026-03-27 04:37 by wxiongid
[考研] 321求调剂 +6 wasdssaa 2026-03-26 6/300 2026-03-26 20:57 by sanrepian
[考研] 化学工程085602 305分求调剂 +17 RichLi_ 2026-03-25 17/850 2026-03-26 19:44 by plmuchong
[考研] 334分 一志愿武理 材料求调剂 +4 李李不服输 2026-03-26 4/200 2026-03-26 16:00 by 不吃魚的貓
[考研] 一志愿哈工大，085400，320，求调剂 +4 gdlf9999 2026-03-24 4/200 2026-03-25 23:01 by boxking200
[考研] 296求调剂 +4 汪！？！ 2026-03-25 7/350 2026-03-25 16:41 by 汪！？！
[考研] 0854电子信息求调剂 324 +4 Promise-jyl 2026-03-23 4/200 2026-03-25 11:36 by Sugarlight
[考研] 上海电力大学材料防护与新材料重点实验室招收调剂研究生（材料、化学、电化学，环境） +4 我爱学电池 2026-03-23 4/200 2026-03-25 00:59 by 1027_324
[考研] 284求调剂 +3 yanzhixue111 2026-03-23 6/300 2026-03-23 22:58 by pswait
[考研] 361求调剂 +3 Glack 2026-03-22 3/150 2026-03-23 22:03 by fuyu_
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭