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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 利用PECVD进行镀Pt样品清洗实验（PECVD不加热做等离子清洗机用）
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)

[求助] 利用PECVD进行镀Pt样品清洗实验（PECVD不加热做等离子清洗机用）

利用PECVD中的等离子射频电源进行镀Pt样品清洗实验（PECVD不加热做等离子清洗机用），发现薄膜没有减薄，反而增厚了，做了3,4次仍然是这个情况，增加厚度一般在1-2nm，怎么回事？？清洗时间设置30min，清洗功率设置30W,气压在9Pa，求大神回复~~
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1楼 2016-09-06 14:05:45
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Friend007

银虫 (知名作家)
清洗时应该有离子轰击薄膜，楼主所描述的情况，应该在基片或薄膜上加入负电压 应该会好些。另，楼主可以做一个对比实验，将薄膜静置30min，不清洗和清洗过的薄膜进行厚度对比。我怀疑出现厚度增加1-2mm的现象是薄膜内应力的结果。

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2楼2016-09-07 07:11:55
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-09-07 07:11:55
清洗时应该有离子轰击薄膜，楼主所描述的情况，应该在基片或薄膜上加入负电压 应该会好些。另，楼主可以做一个对比实验，将薄膜静置30min，不清洗和清洗过的薄膜进行厚度对比。我怀疑出现厚度增加1-2mm的现象是薄膜 ...

您好，我试过用等离子清洗机进行清洗30min，跟PECVD设置参数相同，利用等离子清洗机清洗的样品都会减薄不到1nm，而PECVD则会增厚

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3楼2016-09-07 11:06:29
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-09-07 07:11:55
清洗时应该有离子轰击薄膜，楼主所描述的情况，应该在基片或薄膜上加入负电压 应该会好些。另，楼主可以做一个对比实验，将薄膜静置30min，不清洗和清洗过的薄膜进行厚度对比。我怀疑出现厚度增加1-2mm的现象是薄膜 ...

薄膜静置半个小时是在清洗之后静置半个小时再进行测量膜厚么？

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4楼2016-09-07 11:07:33
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 脸红喽lhl at 2016-09-07 11:07:33
薄膜静置半个小时是在清洗之后静置半个小时再进行测量膜厚么？
...

不清洗，静止30min，测量一下膜厚是否有变化

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5楼2016-09-07 14:40:36
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15190052720

新虫 (正式写手)
为什么不用plasma清洗一下。怕pecvdpecvd二次污染

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6楼2016-09-09 22:04:59
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plqIMR

新虫 (正式写手)
清洗是在什么气氛

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7楼2016-09-10 07:17:07
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by plqIMR at 2016-09-10 07:17:07
清洗是在什么气氛

空气和氩气都尝试了

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8楼2016-09-10 13:01:34
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脸红喽lhl

铜虫 (小有名气)
内容已删除
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9楼2016-09-10 13:01:55
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15190052720

新虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 脸红喽lhl at 2016-09-10 13:01:55
只是为了对比一下两者可以换用不可以
...

用的那家pecvd

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10楼2016-09-10 13:52:56
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