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利用PECVD进行镀Pt样品清洗实验（PECVD不加热做等离子清洗机用）
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| 利用PECVD中的等离子射频电源进行镀Pt样品清洗实验（PECVD不加热做等离子清洗机用），发现薄膜没有减薄，反而增厚了，做了3,4次仍然是这个情况，增加厚度一般在1-2nm，怎么回事？？清洗时间设置30min，清洗功率设置30W,气压在9Pa，求大神回复~~ |
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清洗时应该有离子轰击薄膜，楼主所描述的情况，应该在基片或薄膜上加入负电压 应该会好些。另，楼主可以做一个对比实验，将薄膜静置30min，不清洗和清洗过的薄膜进行厚度对比。我怀疑出现厚度增加1-2mm的现象是薄膜内应力的结果。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2016-09-07 07:11:55
3楼2016-09-07 11:06:29
4楼2016-09-07 11:07:33
5楼2016-09-07 14:40:36
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6楼2016-09-09 22:04:59
plqIMR
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7楼2016-09-10 07:17:07
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9楼2016-09-10 13:01:55
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10楼2016-09-10 13:52:56