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ITO玻璃上电金属膜，四探针测得的方阻是金属膜的方阻，还是ITO膜和金属膜并联后的方阻已有2人参与
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在ITO玻璃上镀金属膜，因为厚度为纳米级，所以四探针测得的方阻数据。 1.四探针所测得的方阻数据，是不是金属膜和ITO膜并联后的方阻 2.如果是并联后的方阻，在计算电阻率时，是否： 总电阻率=样品方阻数据 ×（ITO薄膜的厚度+金属薄膜的厚度） ITO薄膜的电阻率=ITO方阻数据 ×（ITO薄膜的厚度） 3.一般这样情况，是不是用电阻率说明问题，不能用方阻数据说明？ 谢谢大神们。 |
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 薄膜制备与特性 |
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