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铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射cdte

我做的是磁控溅射沉积的cdte薄膜
为什么衬底温度室温时晶粒反而最大呢？
衬底温度越高越看不到晶粒
我看过的文献都不一样
希望大家帮忙看看，或者可以推荐一些相关文献
小女子在此先谢过了

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-4 at 15:55 ]

1楼 2008-11-18 09:03:01

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金虫 (小有名气)

你最好把你磁控溅射的大概参数说出来吧。。什么都没有怎么帮你看咯

2楼2008-11-19 11:00:53

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荣誉版主 (著名写手)

骑士II

★
dawnlight(金币+1,VIP+0):3x,感谢分享~ 4-4 14:48

我估计你是用AFM测的表面吧，其实AFM测的是颗粒的大小并不是晶粒的大小。
高温时颗粒小，表面平整；低温时颗粒大，表面粗糙，对于磁控溅射这是正常的。

3楼2009-04-04 14:28:43

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荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life

★
ddx-k(金币+1,VIP+0):O(∩_∩)O谢谢 4-5 17:23

3楼说得很有道理，AFM测晶粒严格来说是不准的，除非你能确定一个団簇颗粒里面只包含一个晶粒。最准确的方法是看TEM，当然这个制样难度比较大，你也可以看SEM或利用XRD的半高宽，通过谢乐公式估算

xxxxxxxxxxxxx

4楼2009-04-04 23:35:34

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