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再见理想35

木虫 (正式写手)

[求助] ITO薄膜电阻升高

磁控溅射制备ITO薄膜,放置一段时间后电阻升高,可能是表面氧化了,怎样处理才能保证电阻不升高呢?
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hua201314

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
再见理想35: 金币+10, 博学EPI+1 2016-08-29 12:36:19
ITO应经是两种氧化物了,还会被氧化吗?ITO的电阻与温度有关,温度影响结晶度的改变,从而影响电阻。一般是温度高了会增加结晶度,晶粒尺寸增加。
Stay hungry,stay foolish!
2楼2016-08-26 10:26:34
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再见理想35

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by hua201314 at 2016-08-26 10:26:34
ITO应经是两种氧化物了,还会被氧化吗?ITO的电阻与温度有关,温度影响结晶度的改变,从而影响电阻。一般是温度高了会增加结晶度,晶粒尺寸增加。

怎么解决呢?
3楼2016-08-26 12:31:59
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zhuzhenxu123

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

您好,小弟想请教下如何测薄膜电阻呢?
4楼2016-09-25 13:10:56
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