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cjfranklin

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[交流] ald工艺求助~

tfe-ald si系薄膜为什么只能通过plasma方式来做，al系薄膜却只能用thermal方式来做？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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1楼 2016-08-19 21:49:19

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