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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 镀氧化锌的时候，基片温度升高导致生长速率变大可能是啥原因啊？
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qlihustmsti

金虫 (小有名气)

[求助] 镀氧化锌的时候，基片温度升高导致生长速率变大可能是啥原因啊？ 已有4人参与

如题
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1楼 2016-08-19 16:44:02
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诸葛阿毛

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
沉积温度对ZnO薄膜结构形貌及光学性能的影响.pdf
https://yunpan.cn/OcMZSNKysuvxMu （提取码：c91c）
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勤学如春起之苗,不见其增日有所长.缀学如磨刀之石,不见其损日有所亏：zhgamao
2楼2016-08-19 20:26:58
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qlihustmsti

金虫 (小有名气)
虽然不是所需但是还是谢谢
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3楼2016-08-19 21:06:39
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qlihustmsti

金虫 (小有名气)
是磁控溅射，不是CVD，ALD，等
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4楼2016-08-19 21:08:31
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
沉底温度直接影响沉积粒子在沉底表面的迁移，是否是温度升高迁移率增大了，从而有利于薄膜的生长
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5楼2016-08-20 07:41:37
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qlihustmsti

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-08-20 07:41:37
沉底温度直接影响沉积粒子在沉底表面的迁移，是否是温度升高迁移率增大了，从而有利于薄膜的生长

理论上是这么回事，但是只是有利于结晶。并不能解释生长速率变大。反而这更有可能是薄膜结构致密，厚度减小，生长速率变慢。
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6楼2016-08-20 16:10:05
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再见理想35

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
温度升高，薄膜表面结合能增大，提高溅射粒子附着力，落在基底上的粒子增多，减小二次溅射，故生长速率提高。
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7楼2016-08-22 08:38:44
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qlihustmsti

金虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 再见理想35 at 2016-08-22 08:38:44
温度升高，薄膜表面结合能增大，提高溅射粒子附着力，落在基底上的粒子增多，减小二次溅射，故生长速率提高。

我的理解是温度升高，附着原子能量会增大。导致迁移率更大。脱付机会更大。
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8楼2016-08-23 20:29:09
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qlihustmsti

金虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 再见理想35 at 2016-08-22 08:38:44
温度升高，薄膜表面结合能增大，提高溅射粒子附着力，落在基底上的粒子增多，减小二次溅射，故生长速率提高。

可能是表面粗糙度的因
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9楼2016-08-23 20:30:09
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

很大可能是靶材的温度升高了，导致了镀率上升。

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10楼2016-08-23 21:06:42
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