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davidloo

禁虫 (职业作家)

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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

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按照分辨率的概念,人家的数据上已经给出了啊。那个delta Z,不就是小数点后4位嘛。
2楼2016-08-19 11:36:26
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godant

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
1楼: Originally posted by davidloo at 2016-08-18 13:27:02
型号:DektakXT Surface optical profiler
Stylus radius: 2 μm
Stylus force: 1 – 15 mg,测试时用3mg
Vertical resolution: 1Å (@ 6.55 m range)

分辨率号称1Å,但是实际扫出来的一个3D形貌图, ...

分辨率指的是高度分辨率,三维测量,尤其是细节信息还有个很重要的水平分辨能力,这里面分两个概念
1.2um针尖的物理分辨率,2um针尖广义上讲横向分辨率是1um,所以,你不可能分辨出来1um宽度内的细节信息,当然点间隔是可以远小于1um
2.台阶仪的三维扫描是线扫描后拼接,两条线的间隔代表了水平方向上的另一个限制,举例,1mm见方,两条线间隔1um,需要扫描1001条线,间隔越小,线数目越多,时间越长,你需要自己找一个平衡点,那么问题来了,如果你设置了10um间隔,你不可能看到10um量级上的任何细节信息
以上,结合你给出来的电镜上的比例尺,想看清楚您的样品,请选择AFM或光学轮廓仪

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3楼2017-04-11 16:56:56
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godant

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by godant at 2017-04-11 16:56:56
分辨率指的是高度分辨率,三维测量,尤其是细节信息还有个很重要的水平分辨能力,这里面分两个概念
1.2um针尖的物理分辨率,2um针尖广义上讲横向分辨率是1um,所以,你不可能分辨出来1um宽度内的细节信息,当然点间 ...

不好意思,仔细看了眼,您高度方向落差超过10um,原子力够呛,还是看光学轮廓仪吧

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4楼2017-04-11 16:57:56
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