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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 轮廓仪分辨率问题讨论，DektakXT Surface optical profiler
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davidloo

禁虫 (职业作家)
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1楼 2016-08-18 13:27:02
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
按照分辨率的概念，人家的数据上已经给出了啊。那个delta Z，不就是小数点后4位嘛。
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2楼2016-08-19 11:36:26
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godant

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
1楼: Originally posted by davidloo at 2016-08-18 13:27:02
型号：DektakXT Surface optical profiler
Stylus radius: 2 μm
Stylus force: 1 – 15 mg，测试时用3mg
Vertical resolution: 1Å (@ 6.55 m range)

分辨率号称1Å，但是实际扫出来的一个3D形貌图， ...

分辨率指的是高度分辨率，三维测量，尤其是细节信息还有个很重要的水平分辨能力，这里面分两个概念
1.2um针尖的物理分辨率，2um针尖广义上讲横向分辨率是1um，所以，你不可能分辨出来1um宽度内的细节信息，当然点间隔是可以远小于1um
2.台阶仪的三维扫描是线扫描后拼接，两条线的间隔代表了水平方向上的另一个限制，举例，1mm见方，两条线间隔1um，需要扫描1001条线，间隔越小，线数目越多，时间越长，你需要自己找一个平衡点，那么问题来了，如果你设置了10um间隔，你不可能看到10um量级上的任何细节信息
以上，结合你给出来的电镜上的比例尺，想看清楚您的样品，请选择AFM或光学轮廓仪

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3楼2017-04-11 16:56:56
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godant

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by godant at 2017-04-11 16:56:56
分辨率指的是高度分辨率，三维测量，尤其是细节信息还有个很重要的水平分辨能力，这里面分两个概念
1.2um针尖的物理分辨率，2um针尖广义上讲横向分辨率是1um，所以，你不可能分辨出来1um宽度内的细节信息，当然点间 ...

不好意思，仔细看了眼，您高度方向落差超过10um，原子力够呛，还是看光学轮廓仪吧

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4楼2017-04-11 16:57:56
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