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yswyx
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回复此楼2楼2016-08-19 11:36:26
【答案】应助回帖
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分辨率指的是高度分辨率，三维测量，尤其是细节信息还有个很重要的水平分辨能力，这里面分两个概念 1.2um针尖的物理分辨率，2um针尖广义上讲横向分辨率是1um，所以，你不可能分辨出来1um宽度内的细节信息，当然点间隔是可以远小于1um 2.台阶仪的三维扫描是线扫描后拼接，两条线的间隔代表了水平方向上的另一个限制，举例，1mm见方，两条线间隔1um，需要扫描1001条线，间隔越小，线数目越多，时间越长，你需要自己找一个平衡点，那么问题来了，如果你设置了10um间隔，你不可能看到10um量级上的任何细节信息 以上，结合你给出来的电镜上的比例尺，想看清楚您的样品，请选择AFM或光学轮廓仪 发自小木虫IOS客户端 |
3楼2017-04-11 16:56:56
4楼2017-04-11 16:57:56
