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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zhaizihui

新虫 (小有名气)

[求助] 等离子体刻蚀

我想问一下哪位了解SPI ozone plasma仪器的,或者知道机器相关参数?
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

问的不够具体,刻蚀什么?是否通入气体?

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慎独
2楼2016-08-15 23:15:47
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祝福
3楼2016-08-16 09:49:40
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zhaizihui

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-08-15 23:15:47
问的不够具体,刻蚀什么?是否通入气体?

我只是想查这个仪器
4楼2016-08-16 18:47:51
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wjx513513

铜虫 (小有名气)

march的等离子体刻可以提供你参考

发自小木虫Android客户端
5楼2016-08-16 23:08:16
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zhaizihui

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by wjx513513 at 2016-08-16 23:08:16
march的等离子体刻可以提供你参考

march?能把仪器型号和品牌具体说一下吗 我想查一下 谢谢
6楼2016-08-17 09:14:13
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