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请问如何检测NIFe靶材的成分？ 已有3人参与
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| 新买了一个NiFe靶材，直径75mm,厚度3mm左右，想知道如何在不损害新靶材的情况下能比较准确的测试元素比，该用什么方法？之前有镀膜后用EDS测，但是发现误差挺大的，求各位高手指教，谢谢！ |
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