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湿法腐蚀的分类求教
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本人学习湿法腐蚀半导体相关知识,但是腐蚀种类很混乱,分不清,希望大神们指导指导。我了解到的有光辅助湿法腐蚀,电化学腐蚀,常规湿法腐蚀,还有什么呢?然后这些又是怎样分类的?电化学腐蚀跟通电的光辅助湿法腐蚀又有什么区别?![]() ![]() |
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