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湿法腐蚀的分类求教
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本人学习湿法腐蚀半导体相关知识，但是腐蚀种类很混乱，分不清，希望大神们指导指导。我了解到的有光辅助湿法腐蚀，电化学腐蚀，常规湿法腐蚀，还有什么呢？然后这些又是怎样分类的？电化学腐蚀跟通电的光辅助湿法腐蚀又有什么区别？ |
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