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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 硅电池钝化问题：ALD氧化铝后做PECVD的氮化硅如何去除表面气泡
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1329142627

铁虫 (初入文坛)

[求助] 硅电池钝化问题：ALD氧化铝后做PECVD的氮化硅如何去除表面气泡

有人做过类似的背面钝化吗，是不是存在气泡？ALD后试过600C烧结还会存在气泡，退火的话时间比较长会对前场造成很大影响......
有硅电池方向的可以起来讨论下啊
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1楼 2016-08-08 10:46:08
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commondog

新虫 (初入文坛)
做完SiN退火前有没有气泡？我们遇到过做完SiN就有气泡的。
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8楼2017-02-03 13:36:11
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城里的乡下人

木虫 (正式写手)
★
1329142627(明亮的眼眸代发): 金币+1, 谢谢回帖交流，欢迎常来工艺技术版！ 2016-08-30 19:11:06
没做过，我的个人理解是，你应该在前期合成过程中，变化条件，少生成气泡
而不是，气泡已经形成了，再在后段工序来去除气泡
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城里的乡下人
2楼2016-08-08 16:55:56
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1329142627

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 城里的乡下人 at 2016-08-08 16:55:56
没做过，我的个人理解是，你应该在前期合成过程中，变化条件，少生成气泡
而不是，气泡已经形成了，再在后段工序来去除气泡

做完ALD暂时看不出来表面气泡，叠完SiNx才会有。文献上也很少提到这方面的，看来得试试不同退火条件了
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4楼2016-08-10 13:20:32
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月光也是光

铜虫 (小有名气)
★
1329142627(明亮的眼眸代发): 金币+1, 谢谢回帖交流，欢迎常来工艺技术版！ 2016-08-30 19:11:19
不知是否可以用激光来退火？
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要，就要出足够的尊敬！
5楼2016-08-26 11:24:41
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