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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 交叉学科 » 太阳能电池片制备中扩散工艺的几点疑惑，求大神解答，谢谢
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一笑冲天

新虫 (初入文坛)

[交流] 太阳能电池片制备中扩散工艺的几点疑惑，求大神解答，谢谢 已有2人参与

1.扩散前，要通氧氧化，想请问一下为什么要通氧？有人说是为了想成二氧化硅层，使扩散的均匀，哪位大神能说下其中的原理。除了这个作用外，还有没有其他的作用？谢谢2.扩散最后一步，还要再通氧气，照理说扩散后表面有了磷硅玻璃层，然后后续刻蚀工序还需要去除磷硅玻璃层，现在又通氧这不是多此一举吗？请问最后这步通氧的作用是什么？求告知
本人小白，问题可能不太专业，求大神们不要笑话，谢谢
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1楼 2016-07-31 18:15:47
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小怪搜

新虫 (初入文坛)
你好，最近我在这方面也遇到困难了，希望一起讨论1029947401

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2楼2016-09-03 10:54:59
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jinlinyang

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
扩散后通氧为使PCl5反应完全
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3楼2018-11-28 11:13:41
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