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邬新

金虫 (小有名气)

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专业: 材料物理化学

[求助] SrTiO3衬底腐蚀成原子级别平整台阶状的方法已有3人参与

因为要外延生长某种钙钛矿物质，需要用到SrTiO3（STO）衬底。但是STO衬底使用前必须经过化学腐蚀和高温处理才能形成原子级别平整度的台阶状。
最近，我进行了多次尝试，最开始，找到了吕惠宾老师等在中国科学发表的一篇文章，按照他的方法进行了腐蚀，观察完AFM后，发现存在如下的问题：
1.台阶是出现了，但是台阶的边并不平，而是成一些曲线的台阶。
2.台阶上还分布有一些针状的物质，不知道是什么物质。
3.用进口衬底腐蚀可以整体都是台阶，用国产的只能腐蚀出局部台阶状。
针对以上问题，请问大家，我还该如何改进？谢谢大家！
近期又看到了薛其坤院士等的腐蚀衬底的专利，其中有一个步骤是在酸里煮45分钟，做出来更加的不行。最近为此非常犯愁，希望大家能给予指点！谢谢大家。
下面是我近期腐蚀的结果：
进口STO衬底腐蚀结果：

国产STO衬底腐蚀结果：（局部出现台阶）