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杰4530金虫 (正式写手)
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[求助]
我想模拟真空腔内点蒸发源,线蒸发源在基板上的沉积膜厚,不知道用什么软件
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| 比如线蒸发源通过模拟基板膜厚差异,可以是动态的。通过调整坩埚的分布,口径,限制版的角度,来模拟基板上的膜厚的差异。有知道的吗?欢迎交流。@wuming524 |
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2楼2020-03-31 09:58:50












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