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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 计算模拟 » 我想模拟真空腔内点蒸发源，线蒸发源在基板上的沉积膜厚，不知道用什么软件。
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杰4530

金虫 (正式写手)

[求助] 我想模拟真空腔内点蒸发源，线蒸发源在基板上的沉积膜厚，不知道用什么软件。

比如线蒸发源通过模拟基板膜厚差异，可以是动态的。通过调整坩埚的分布，口径，限制版的角度，来模拟基板上的膜厚的差异。有知道的吗？欢迎交流。
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居里，我在等你，矢志不渝。
1楼 2016-07-30 09:00:43
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