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wangying01

金虫 (小有名气)

[交流] 再次请教1-2nm膜厚(金属硅化物)测量

1-2nm膜厚(金属硅化物)测量哪种方法更精确?谢谢啦!
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catalyst1653

金虫 (小有名气)

AES是比较有效的手段
2楼2009-08-18 18:15:08
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