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光刻胶的性能评价
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| 请问大家关于光刻胶的主要性能参数都有哪些，具体是怎么进行评价的？比如我在网上找到一些性能参数，如：感光度、分辨率、对比度、残膜率、涂布性、耐热性、粘附性、耐蚀性、粘度等等，但是我想知道这些参数具体是怎么测量的？我现在做出来了一些光刻胶，我想知道怎么测得以上各种参数？请高人指点，谢谢！ |
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 薄膜材料和器件制备 |
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