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咨询不同加速电压下聚焦离子束束斑直径问题
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| 请问不同不同能量下聚焦离子束系统的束斑直径也就是镓离子束的半高宽是多少？比如5keV下或者30keV下？都有哪些规格？谢谢。 |
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