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请教下真空镀膜设备哪个比较好？ 已有1人参与
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针对4英寸硅片上镀金、铝、铬等金属，厚度为50nm-200nm，要求保证较高的加工精度。德国康达、宝莱、中科科仪还有其他的，哪个比较靠谱呢？大约要多少钱？ 求赐教 |
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2楼2016-07-22 16:17:28
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3楼2016-07-23 13:21:04
yousyunnsei
捐助贵宾 (职业作家)
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- 专业: 半导体材料
4楼2016-07-23 15:12:25
5楼2016-07-24 09:27:25
6楼2016-08-05 12:39:05
7楼2016-08-05 13:47:54
pvdmaterial
新虫 (小有名气)
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- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
8楼2016-08-05 14:10:58
zhenjinming: 屏蔽内容 2016-08-06 22:43:10
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9楼2016-08-05 16:56:13
小志爱吃肉
金虫 (初入文坛)
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- 注册: 2016-07-15
- 性别: GG
- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
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你说的是用PVD或CVD的方法镀膜吧，要镀多少个面？工件回火温度是多少？对镀后基体的硬度是否有要求？ 机器的话，国内比较OK的真空镀膜机有丹普，外国有swiss pvd 发自小木虫Android客户端 |
10楼2016-08-05 18:47:58
