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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 请教下真空镀膜设备哪个比较好？
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克努特

铜虫 (小有名气)

[求助] 请教下真空镀膜设备哪个比较好？ 已有1人参与

针对4英寸硅片上镀金、铝、铬等金属，厚度为50nm-200nm，要求保证较高的加工精度。德国康达、宝莱、中科科仪还有其他的，哪个比较靠谱呢？大约要多少钱？
求赐教
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1楼 2016-07-22 15:42:40
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克努特

铜虫 (小有名气)
另外，真空度的要求怎么样？
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2楼2016-07-22 16:17:28
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xc那些花儿

新虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
3楼2016-07-23 13:21:04
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yousyunnsei

捐助贵宾 (职业作家)
商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
日本爱发科的设备也很有名。
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使人成熟的不是岁月，而是经历。
4楼2016-07-23 15:12:25
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克努特

铜虫 (小有名气)
内容已删除
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5楼2016-07-24 09:27:25
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盛开的夏天xc

新虫 (初入文坛)
我师兄他们那有蒸发镀膜的，如果有兴趣可以咨询一下
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6楼2016-08-05 12:39:05
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克努特

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 盛开的夏天xc at 2016-08-05 12:39:05
我师兄他们那有蒸发镀膜的，如果有兴趣可以咨询一下

好啊，共同讨论讨论
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7楼2016-08-05 13:47:54
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

国产和进口的设备还是不一样，其实用应该都能用，但是跟实验的精密程度和你的经费预算也有关系，国内蒸镀设备还有金盛微纳，泰科诺，中科科仪，沈阳聚智真空等，你都可以问问，这设备还是多咨询几家比较好
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8楼2016-08-05 14:10:58
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昊臣机电

新虫 (初入文坛)
zhenjinming: 屏蔽内容 2016-08-06 22:43:10
本帖内容被屏蔽
9楼2016-08-05 16:56:13
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小志爱吃肉

金虫 (初入文坛)
你说的是用PVD或CVD的方法镀膜吧，要镀多少个面？工件回火温度是多少？对镀后基体的硬度是否有要求？
机器的话，国内比较OK的真空镀膜机有丹普，外国有swiss pvd

发自小木虫Android客户端
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10楼2016-08-05 18:47:58
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