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wangying01

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】1-2nm膜厚(金属硅化物)如何测量

请高手指点1-2nm膜厚(金属硅化物)如何测量?

[ Last edited by 张甜 on 2008-11-12 at 12:19 ]
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wangying01

金虫 (小有名气)

哪种方法更准确?

哪种方法更准确?请教啦!
2楼2008-11-12 11:04:19
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xiaobo1255

木虫 (著名写手)

是不是可以通过椭圆偏振仪呢?
3楼2008-11-12 13:59:30
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fklh

木虫 (正式写手)

牛顿环,等厚干涉?
大学物理有的
4楼2008-11-12 19:10:59
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