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Hawkingv587

禁虫 (初入文坛)

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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

Ar以一定角度轰击在靶材表面,产生一个平行于表面和一个垂直于表面的动量分量,使材料脱离靶材表面(垂直方向),溅射到衬底上。垂直于靶材表面的分量会影响材料脱离靶材所具有的动能,影响材料撞击在衬底上的动能,从而影响薄膜生长质量。
2楼2016-07-25 11:45:06
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