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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 不同入射角度氩离子束溅射对薄膜表面粗糙度的影响规律
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Hawkingv587

禁虫 (初入文坛)
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1楼 2016-07-20 16:20:48
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

Ar以一定角度轰击在靶材表面，产生一个平行于表面和一个垂直于表面的动量分量，使材料脱离靶材表面（垂直方向），溅射到衬底上。垂直于靶材表面的分量会影响材料脱离靶材所具有的动能，影响材料撞击在衬底上的动能，从而影响薄膜生长质量。
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2楼2016-07-25 11:45:06
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