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如何制造微纳米级的台阶 已有2人参与
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请教各位大神，图片所示的微纳米台阶怎么做，总共有几十级 1.jpg |
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momabow2楼2016-07-19 14:04:27
3楼2016-07-19 18:00:04
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
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momabow: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2016-07-22 15:13:01
momabow: 金币+30, ★★★★★最佳答案 2016-07-22 15:13:01
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如果你有电子束曝光，那就很好办了。直接做灰度光刻。 电子束曝光哪里来的掩模啊？直写的啊。你的意思是掩膜吧？ 用PMMA胶，用过不同位置的不同曝光剂量来写出不同高度台阶的光刻胶结构。麻烦的地方要按照剂量分层，看你用的是什么设备了。 可以发邮件给我，tech@rdmicro.com |
4楼2016-07-22 12:09:16
5楼2016-07-23 14:49:32
