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打微米孔 已有1人参与
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| 我想在有机聚合物膜材料上打微米级的孔，孔深25微米，哪位能知道该用什么方法呢？ |
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3楼2016-07-23 09:52:40
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
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- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
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zhaizihui: 金币+5 2016-07-23 09:38:52
zhaizihui: 金币+5 2016-07-23 09:38:52
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一个方法是模压，一个方法是做光刻和刻蚀。 你的膜材料多厚？什么性质的？ 可以发邮件给我看看具体的技术要求。tech@rdmicro.com |
2楼2016-07-22 12:11:07
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之前做过pi膜 50um的薄膜打30um的深度，激光做基本可行！ 13002136817@163.com 费米激光提供的激光微孔打孔设备，最小加工微孔孔径（线宽）5μm，整体加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm，用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。 主要用于：半导体柔性电路板切割、ITO膜层蚀刻、微电子器件制造、印刷模板制备、生物芯片制备、精密模具成型、精密仪器仪表www.fermilaser.com |
4楼2016-07-25 10:18:57
