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晓彬

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射法制备的晶粒形貌用什么测试方法能观察到? 已有2人参与

如题,涂层有几百纳米(可以做厚),想看下是不是等轴晶

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whd博士

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
形貌的话可以用SEM,断面表面都可以。解析晶体结构的话还是XRD吧,很薄的话可以用小角XRD。透射电镜的话可以表征晶体结构(就是电子衍射和高分辨),但是形貌上可能有点问题,毕竟需要制备成超薄片,形貌可能会有影响。。。。。
2楼2016-07-16 19:07:06
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晓彬

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by whd博士 at 2016-07-16 19:07:06
形貌的话可以用SEM,断面表面都可以。解析晶体结构的话还是XRD吧,很薄的话可以用小角XRD。透射电镜的话可以表征晶体结构(就是电子衍射和高分辨),但是形貌上可能有点问题,毕竟需要制备成超薄片,形貌可能会有影 ...

我之前做了SEM,结果除了看到厚度之外,基本看不到它的形貌……是因为放大倍数太低了吗?多大才合适?我看文献里面的SEM形貌特别清楚好看,那是怎么做到的?是对涂层样品做了特殊处理吗?……问题有点多,谢谢啦~

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3楼2016-07-22 15:16:57
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whd博士

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 晓彬 at 2016-07-22 15:16:57
我之前做了SEM,结果除了看到厚度之外,基本看不到它的形貌……是因为放大倍数太低了吗?多大才合适?我看文献里面的SEM形貌特别清楚好看,那是怎么做到的?是对涂层样品做了特殊处理吗?……问题有点多,谢谢啦~
...

看晶粒形貌的话,如果是抛光截面或者断面,可以先热腐蚀或者化学腐蚀,把晶界腐蚀掉,这样晶粒形貌在电镜下会更清楚。另外放大倍率跟磁控溅射得到的晶粒尺寸大小有关,这个是可调的,你可以参考下文献中SEM照片,看看他们的标尺是多少,然后看电镜的时候告诉测试的老师,他们能估计出大概的观察参数。
4楼2016-07-24 09:49:14
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晓彬

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by whd博士 at 2016-07-24 09:49:14
看晶粒形貌的话,如果是抛光截面或者断面,可以先热腐蚀或者化学腐蚀,把晶界腐蚀掉,这样晶粒形貌在电镜下会更清楚。另外放大倍率跟磁控溅射得到的晶粒尺寸大小有关,这个是可调的,你可以参考下文献中SEM照片,看 ...

嗯嗯,太感谢啦~

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5楼2016-07-28 18:25:57
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whd博士

木虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 晓彬 at 2016-07-28 18:25:57
嗯嗯,太感谢啦~
...

不客气~~~~~~
6楼2016-07-30 13:50:52
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

SEM
TEM
都可以看形貌
7楼2016-07-31 00:59:19
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