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[求助]
求助。薄膜电阻随着温度变化很大如何处理。
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如题， 本人目前采用电子束蒸镀的办法制备透明导电氧化物薄膜，主要是氧化锡掺杂，发现所制备的薄膜，进行退火处理之后，刚刚制备处理的薄膜电阻还行，数字源表测试大概在3兆欧左右，结果过了不到半个小时，电阻立马升到了接近200兆欧，请问这种情况下是怎么一回事？第一次出现这种情况。谢谢大家。请赐教。 |
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qlihustmsti
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