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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 新做的磁控溅射陶瓷圆形靶材中间有1条裂纹，快断了，想用，如何修整或修复？
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ly2829

铁虫 (小有名气)

[交流] 新做的磁控溅射陶瓷圆形靶材中间有1条裂纹，快断了，想用，如何修整或修复？ 已有3人参与

用SPS做的一氧化钛陶瓷靶，可惜中间有一条裂纹，就这样丢掉可惜，做了四五次才得到这个好一点的靶。要继续用来镀膜，如何修复一下？听说可以用东西把靶四周箍住？
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1楼 2016-06-30 17:06:34
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yexyz

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可以绑定下。用同样大小的铜板，把这个靶粘在铜板上面。
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2楼2016-07-01 19:56:29
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xdonqi

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可以用铜条在边缘绕一圈固定。。
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如果想在秋天收获鸡肉卷，春天一定要记得播种，梦想一定也是这样！
3楼2016-07-02 12:07:56
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ly2829

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yexyz at 2016-07-01 19:56:29
可以绑定下。用同样大小的铜板，把这个靶粘在铜板上面。

用什么东西粘呢
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4楼2016-07-11 10:59:11
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ly2829

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yexyz at 2016-07-01 19:56:29
可以绑定下。用同样大小的铜板，把这个靶粘在铜板上面。

用什么东西粘呢
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5楼2016-07-11 11:00:12
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yexyz

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by ly2829 at 2016-07-11 11:00:12
用什么东西粘呢...

可以用金属铟试试。铟的熔点不高，如果工作时靶材温度很高的话，可能不行。
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6楼2016-07-11 13:43:32
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靶材邦定

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
1楼: Originally posted by ly2829 at 2016-06-30 17:06:34
用SPS做的一氧化钛陶瓷靶，可惜中间有一条裂纹，就这样丢掉可惜，做了四五次才得到这个好一点的靶。要继续用来镀膜，如何修复一下？听说可以用东西把靶四周箍住？

邦定

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7楼2016-10-06 01:01:48
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