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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 镀金电路加工
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laserfocus

新虫 (小有名气)

[交流] 镀金电路加工

最近在做个蓝宝石镀金电路，电路3*5mm大小，精度±2μm，金层400nm，有个螺旋线圈，螺距30μm，需要蚀刻掉12μm，剩下18μm。考虑用紫外激光直写，速度快，但是有烧蚀大概有2μm，不知道烧蚀有什么影响，有没有更好的办法
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1楼 2016-06-29 11:42:32
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费米激光

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
a a a a a a a a a a a a a a
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16楼2016-07-06 09:42:17
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xiaochaos

新虫 (著名写手)
★
laserfocus(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主祝福多多
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9楼2016-06-29 14:26:44
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yufuxiaoq

新虫 (著名写手)
★
laserfocus(金币+1): 谢谢参与
祝福楼主祝福多多
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10楼2016-06-29 14:27:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个你需要用光刻来做，紫外激光直接雕刻，工艺精度上达不到。你这个精度对于光刻来说不是特别难。
可以给我发短信。
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13楼2016-06-29 16:48:15
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skyish3楼
2016-06-29 11:59   回复  
laserfocus(金币+1): 谢谢参与
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