| 查看: 1004 | 回复: 4 | ||
[求助]
怎样通过PLD制备出性能较好的铁电薄膜（~10 nm） 已有3人参与
|
| 使用PLD长铁电薄膜差不多1年了，但总是长不好。之前长的100 nm左右的，测了宏观铁电性能（电滞回线，C-V，介频谱）各方面还可以。现在其他参数没变，沉积时间减少，薄膜厚度变薄后，用PFM（压电力显微镜）观察，粗糙度有点大，性能很差。微调氧压，频率等 都没有效果。都快绝望了。请各位大神指点一下通过什么方法能长好铁电薄膜？或者说有没有PLD操作或使用过程中的小技巧？ |
回复此楼» 猜你喜欢
今天放榜吗？
已经有12人回复
-
filecode，4个jtjc了
已经有9人回复
-
今天基金会出结果吗？20260819
已经有8人回复
-
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有115人回复
-
2027广东省杰青
已经有10人回复
-
朋友圈看到的
已经有8人回复
-
时间戳变了，能看出什么问题？
已经有14人回复
-
咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否
已经有30人回复
-
快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。
已经有7人回复
-
什么时候开奖？
已经有6人回复
Jack2008082
金虫 (小有名气)
- 应助: 12 (小学生)
- 金币: 1120.8
- 散金: 64
- 红花: 2
- 帖子: 216
- 在线: 272.3小时
- 虫号: 2038176
- 注册: 2012-09-30
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2016-07-06 22:08:43
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2016-07-21 09:34:41
kangye_1989
木虫 (著名写手)
- 应助: 585 (博士)
- 金币: 1361.5
- 散金: 50
- 红花: 45
- 帖子: 1216
- 在线: 149.1小时
- 虫号: 2737587
- 注册: 2013-10-19
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2016-07-21 09:35:26
wiseroy
木虫 (著名写手)
更多共享-更多交流-更多进步
- 应助: 54 (初中生)
- 金币: 3129.4
- 散金: 1114
- 红花: 9
- 帖子: 1014
- 在线: 225.8小时
- 虫号: 1169386
- 注册: 2010-12-14
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2016-08-07 23:08:39
