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风在云在

金虫 (正式写手)

[求助] 薄膜厚度 已有8人参与

怎么测量薄膜厚度?估计在10几个纳米,求支招
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A4少女

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
制成切片 然后在扫描电镜下测量膜厚,一般很薄的材料,这种方法测量比较准确

发自小木虫IOS客户端
3楼2016-06-28 15:01:48
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个厚度范围的薄膜测量厚度应该可用椭偏仪进行。
5楼2016-06-28 19:13:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
6楼: Originally posted by 风在云在 at 2016-06-28 19:43:24
椭偏仪精度能到几十纳米吗?偏差会不会很大?...

可以,椭偏的精度可以到A以下很多。
9楼2016-06-29 16:51:15
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wang yongrui

银虫 (小有名气)

几十个纳米原子力显微镜可以测膜厚,只要你得样品制好,样品表面要干净,膜与基底的分界线做的好些。

发自小木虫Android客户端
12楼2016-06-30 00:33:51
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普通回帖

jiyeming

至尊木虫 (职业作家)

原子力显微镜,台阶仪都可以

发自小木虫Android客户端
2楼2016-06-28 14:41:00
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4楼2016-06-28 15:16:21
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风在云在

金虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2016-06-28 19:13:14
这个厚度范围的薄膜测量厚度应该可用椭偏仪进行。

椭偏仪精度能到几十纳米吗?偏差会不会很大?
6楼2016-06-28 19:43:24
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

7楼2016-06-28 20:14:11
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

8楼2016-06-28 21:57:06
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10楼2016-06-29 23:13:01
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