| 查看: 519 | 回复: 0 | |||
[交流]
怎样通过PLD制备出性能较好的铁电薄膜（~10 nm）
|
| 使用PLD长铁电薄膜差不多1年了，但总是长不好。之前长的100 nm左右的，测了宏观铁电性能（电滞回线，C-V，介频谱）各方面还可以。现在其他参数没变，沉积时间减少，薄膜厚度变薄后，用PFM（压电力显微镜）观察，粗糙度有点大，性能很差。微调氧压，频率等 都没有效果。都快绝望了。请各位大神指点一下通过什么方法能长好铁电薄膜？或者说有没有PLD操作或使用过程中的小技巧？ |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有10人回复
-
球磨粉体时遇到了大的问题，请指教！
已经有13人回复
-
情人节自我反思：在爱情中有过遗憾吗？
已经有5人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有6人回复
-
售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急
已经有8人回复
-
江汉大学解明教授课题组招博士研究生/博士后
已经有3人回复