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rz365go

铁虫 (初入文坛)

[交流] 怎样通过PLD制备出性能较好的铁电薄膜（~10 nm）

使用PLD长铁电薄膜差不多1年了，但总是长不好。之前长的100 nm左右的，测了宏观铁电性能（电滞回线，C-V，介频谱）各方面还可以。现在其他参数没变，沉积时间减少，薄膜厚度变薄后，用PFM（压电力显微镜）观察，粗糙度有点大，性能很差。微调氧压，频率等 都没有效果。都快绝望了。请各位大神指点一下通过什么方法能长好铁电薄膜？或者说有没有PLD操作或使用过程中的小技巧？
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1楼 2016-06-27 20:39:42
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