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wl198367

[交流] 【求助】如何根据气体流量计算气体分压

如何根据气体流量计算气体分压，比如在溅射通气体中，氩气流量是10sccm 氢气是5sccm 如何计算氢气分压？ 谁知道 谢谢
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1楼 2008-11-07 16:59:38
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flbwlx

铁杆木虫 (职业作家)

单身家族之“大总管”
我也想问这个问题，好像都不不一样，不同文献上说的相同气体流量但是对应的气体气压却差别很大
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2楼2008-11-07 17:46:04
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wl198367

引用回帖:
Originally posted by flbwlx at 2008-11-7 17:46:
我也想问这个问题，好像都不不一样，不同文献上说的相同气体流量但是对应的气体气压却差别很大

是的　　不同文献上的不一样　　我一直不知道这是有个公式计算不　　感觉好象不是想象中那样简单！！
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3楼2008-11-09 15:00:12
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wl198367

引用回帖:
Originally posted by flbwlx at 2008-11-7 17:46:
我也想问这个问题，好像都不不一样，不同文献上说的相同气体流量但是对应的气体气压却差别很大

　你说的问题我可以解释，相同的气体流量对应的气体气压会有差别，这是因为所有的溅射系统或者其他制备薄膜的系统气路都是一个动态平衡过程!
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4楼2008-11-09 15:08:20
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