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强势枪手

铁虫 (初入文坛)

[求助] 本征硅用什么材料做电极是欧姆接触?已有2人参与

rt
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

肯定是要做掺杂的,否则欧姆接触不好的。所以无论NP还是本征,高的掺杂浓度时欧姆接触的基本保证。你可以先做光刻,然后做离子注入,然后退火,然后做欧姆接触工艺。
具体要看你的器件。
2楼2016-06-29 17:00:21
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dylandavid

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-06-29 17:00:21
肯定是要做掺杂的,否则欧姆接触不好的。所以无论NP还是本征,高的掺杂浓度时欧姆接触的基本保证。你可以先做光刻,然后做离子注入,然后退火,然后做欧姆接触工艺。
具体要看你的器件。

直接蒸镀一层金属可以吗?谢谢
3楼2016-07-01 10:58:15
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by dylandavid at 2016-07-01 10:58:15
直接蒸镀一层金属可以吗?谢谢...

不行啊,金属材料必须要和n+或者P+形成欧姆接触,而且还要退火。即使这样,还要考虑表面氧化物,以及各种表面态的问题。
或者是做一层硅化物,比如钛钨的硅化物,然后再做金属。
4楼2016-07-05 13:13:24
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