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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 本征硅用什么材料做电极是欧姆接触？
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强势枪手

铁虫 (初入文坛)

[求助] 本征硅用什么材料做电极是欧姆接触？ 已有2人参与

rt
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1楼 2016-06-23 10:20:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

肯定是要做掺杂的，否则欧姆接触不好的。所以无论NP还是本征，高的掺杂浓度时欧姆接触的基本保证。你可以先做光刻，然后做离子注入，然后退火，然后做欧姆接触工艺。
具体要看你的器件。
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2楼2016-06-29 17:00:21
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dylandavid

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-06-29 17:00:21
肯定是要做掺杂的，否则欧姆接触不好的。所以无论NP还是本征，高的掺杂浓度时欧姆接触的基本保证。你可以先做光刻，然后做离子注入，然后退火，然后做欧姆接触工艺。
具体要看你的器件。

直接蒸镀一层金属可以吗？谢谢
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3楼2016-07-01 10:58:15
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by dylandavid at 2016-07-01 10:58:15
直接蒸镀一层金属可以吗？谢谢...

不行啊，金属材料必须要和n+或者P+形成欧姆接触，而且还要退火。即使这样，还要考虑表面氧化物，以及各种表面态的问题。
或者是做一层硅化物，比如钛钨的硅化物，然后再做金属。
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4楼2016-07-05 13:13:24
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