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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 原子力显微镜 薄膜粗糙度参数
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陈小壳

新虫 (初入文坛)

[求助] 原子力显微镜 薄膜粗糙度参数

原子力显微镜看半导体薄膜粗糙度 有几个参数分别是什么？
Roughness exponent α
RMS roughness 这个我知道是高度
lateral correlation length ξ
其他两个不知道 求虫友解释

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1楼 2016-06-21 15:34:40
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wh616

新虫 (初入文坛)
你好，可不可以看一下用原子力显微镜看到的三维形貌图片

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2楼2016-06-21 22:14:39
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