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生活的高手

新虫 (初入文坛)

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虫号: 2023639
注册: 2012-09-23
专业: 物理电子学

[求助] 有没有哪位虫友做过光刻胶+种子层+光刻胶的工艺，求助！！！

首先我用AZ4903做保护层（大约30um,前烘采用阶梯升温，最高105度），然后溅射500埃的Cr作为种子层，再甩胶（AZ4620,5um左右）前烘（也是阶梯升温）后种子层有裂痕，做了好多次都有裂痕，哪位虫友有好的建议，是不是我哪步出现问题了，求指导！！！

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1楼 2016-06-16 13:52:33

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