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[求助]
有没有哪位虫友做过光刻胶+种子层+光刻胶的工艺，求助！！！
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| 首先我用AZ4903做保护层（大约30um,前烘采用阶梯升温，最高105度），然后溅射500埃的Cr作为种子层，再甩胶（AZ4620,5um左右）前烘（也是阶梯升温）后种子层有裂痕，做了好多次都有裂痕，哪位虫友有好的建议，是不是我哪步出现问题了，求指导！！！ |
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