| 查看: 492 | 回复: 0 | ||
[求助]
有没有哪位虫友做过光刻胶+种子层+光刻胶的工艺，求助！！！
|
| 首先我用AZ4903做保护层（大约30um,前烘采用阶梯升温，最高105度），然后溅射500埃的Cr作为种子层，再甩胶（AZ4620,5um左右）前烘（也是阶梯升温）后种子层有裂痕，做了好多次都有裂痕，哪位虫友有好的建议，是不是我哪步出现问题了，求指导！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有96人回复
-
哈尔滨工程大学国家级青年人才-27年申请考核制博士招生（材料、化学、生物医学专业）
已经有13人回复
-
HRTEM/原位TEM/HRSTEM检测｜价格优·周期短·可加急
已经有0人回复
-
大家平时也可以交流下
已经有1人回复
-
ELSEVIER旗下投稿decision in process后with editor，应该如何理解
已经有45人回复