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a9ood

铁虫 (初入文坛)

[求助] 如何将CVD生长的石墨烯转移到多孔硅片上(非通孔) 已有2人参与

本人目前在硅片上pattern了不同尺寸(2-5um)的圆孔,深度几百纳米,想将CVD石墨烯转移上去,但是一般转移过程中都会有水,转移之后的石墨烯都破了,求高人指点如何解决该问题。也不一定非要完全无破损,哪怕有几个孔不破也可以。

之前可能被罚过,金币都没了,只剩8.8个了。。。希望能找到方法!

如何将CVD生长的石墨烯转移到多孔硅片上(非通孔)
Ashampoo_Snap_2016.06.16_09h48m46s_001_.jpg
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我爱小钰
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zctf

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
试试从酒精里捞起来,会不会好点呢
劣质反应釜。。。
2楼2016-06-16 10:15:23
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

微米极圆孔,深度还几百纳米,CVD石墨烯少层可看做单层,厚度0.335nm,如何大跨度"担"在大空洞上?正常pmma转移试过了吗?丙酮除胶或者退火除胶呢?都试试吧

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慎独
3楼2016-06-16 10:42:29
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a9ood

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-06-16 10:42:29
微米极圆孔,深度还几百纳米,CVD石墨烯少层可看做单层,厚度0.335nm,如何大跨度"担"在大空洞上?正常pmma转移试过了吗?丙酮除胶或者退火除胶呢?都试试吧
...

上面的图就是正常PMMA转移的方法,因为有水所以会破很多
我爱小钰
4楼2016-06-27 10:45:51
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101719

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by zctf at 2016-06-16 10:15:23
试试从酒精里捞起来,会不会好点呢

你好,从乙醇中捞,薄膜放入乙醇中就会沉入低面去,捞不起来,而且乙醇会是石墨烯破损?

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5楼2017-04-23 11:09:50
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艰难的决定

新虫 (初入文坛)

楼主还在吗,想问一下楼主硅片表面的孔是怎么做出来的呢?
6楼2018-05-16 09:03:25
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有止无休

木虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 艰难的决定 at 2018-05-16 09:03:25
楼主还在吗,想问一下楼主硅片表面的孔是怎么做出来的呢?

可以通过反应离子刻蚀RIE做出来
多看文献,不做工人
7楼2018-05-23 04:34:18
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