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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何将CVD生长的石墨烯转移到多孔硅片上（非通孔）
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a9ood

铁虫 (初入文坛)

[求助] 如何将CVD生长的石墨烯转移到多孔硅片上（非通孔） 已有2人参与

本人目前在硅片上pattern了不同尺寸（2-5um）的圆孔，深度几百纳米，想将CVD石墨烯转移上去，但是一般转移过程中都会有水，转移之后的石墨烯都破了，求高人指点如何解决该问题。也不一定非要完全无破损，哪怕有几个孔不破也可以。

之前可能被罚过，金币都没了，只剩8.8个了。。。希望能找到方法！

如何将CVD生长的石墨烯转移到多孔硅片上（非通孔）
Ashampoo_Snap_2016.06.16_09h48m46s_001_.jpg
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我爱小钰
1楼 2016-06-16 09:50:22
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zctf

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
试试从酒精里捞起来，会不会好点呢
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劣质反应釜。。。
2楼2016-06-16 10:15:23
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)
微米极圆孔，深度还几百纳米，CVD石墨烯少层可看做单层，厚度0.335nm，如何大跨度"担"在大空洞上？正常pmma转移试过了吗？丙酮除胶或者退火除胶呢？都试试吧

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慎独
3楼2016-06-16 10:42:29
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a9ood

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-06-16 10:42:29
微米极圆孔，深度还几百纳米，CVD石墨烯少层可看做单层，厚度0.335nm，如何大跨度"担"在大空洞上？正常pmma转移试过了吗？丙酮除胶或者退火除胶呢？都试试吧
...

上面的图就是正常PMMA转移的方法，因为有水所以会破很多
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我爱小钰
4楼2016-06-27 10:45:51
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101719

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by zctf at 2016-06-16 10:15:23
试试从酒精里捞起来，会不会好点呢

你好，从乙醇中捞，薄膜放入乙醇中就会沉入低面去，捞不起来，而且乙醇会是石墨烯破损？

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5楼2017-04-23 11:09:50
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艰难的决定

新虫 (初入文坛)
楼主还在吗，想问一下楼主硅片表面的孔是怎么做出来的呢？
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6楼2018-05-16 09:03:25
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有止无休

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 艰难的决定 at 2018-05-16 09:03:25
楼主还在吗，想问一下楼主硅片表面的孔是怎么做出来的呢？

可以通过反应离子刻蚀RIE做出来
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多看文献，不做工人
7楼2018-05-23 04:34:18
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