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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 测试表征 » 求教有关sem与其附带的eds.
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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Alan5225

新虫 (初入文坛)

[求助] 求教有关sem与其附带的eds. 已有3人参与

我做了一个扫描电镜的eds，有一个我认为是主要成份的物质在eds数据中显示较少，我想请教：扫描电镜做的是表面形貌，其中的eds是不是也是表面做出来的数据，是不是包在里层的做eds扫描不到显示不出来？
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1楼 2016-06-15 10:45:07
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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Alan5225(wangkj代发): 金币+5, 谢谢交流 2016-06-25 08:34:39
eds不是表面技术，和sem形貌信号源完全不同，当然没可比性，eds纵向分析深度至少也是微米级，建议你看看电镜方面的书，弄清电子束入射以后各种产生的信号和各个探测器检测的关系
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4楼2016-06-15 14:00:09
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Alan5225(wangkj代发): 金币+5, 谢谢交流 2016-06-25 08:34:48
扫描电镜的能谱分析就是分析的表面附近一两个微米以内范围的成分。这是因为电子束的能量有限，不可能打到厚度较深的区域。
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5楼2016-06-15 19:35:31
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水月听风

木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★
Alan5225(wangkj代发): 金币+5, 谢谢交流 2016-06-25 08:35:12
eds大概表层下一微米到两微米，大概而已。和相对与eds探头角度，表面平整度等有关，spot size 太小eds也不准。选平面打eds

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6楼2016-06-15 20:24:55
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13217610791

捐助贵宾 (小有名气)
做铝元素应该没问题，eds穿透能力和样品密度也有关的，

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7楼2016-06-16 08:51:01
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diudiuwy

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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Alan5225(wangkj代发): 金币+5, 谢谢交流 2016-06-25 08:35:25
SEM电子束的穿透深度是微米级的。如果你样品表面只有几纳米，建议用其他表征方法。
SEM穿透深度和你用的加速电压有关系,电压小穿透浅，你可以试试用5Kv.

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8楼2016-06-16 21:00:08
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xiaofengy

木虫 (正式写手)
EDS测的就是表层几百纳米的成分

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9楼2016-06-17 05:04:36
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moutainwolf

新虫 (小有名气)
要测内部元素用TEM

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10楼2016-06-18 18:19:36
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普通回帖

hmimyboy

铁杆木虫 (著名写手)
楼主要测哪些元素？碳元素一般都不准，轻的元素也不准。

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2楼2016-06-15 12:06:51
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Alan5225

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by hmimyboy at 2016-06-15 12:06:51
楼主要测哪些元素？碳元素一般都不准，轻的元素也不准。

测的铝元素，是测的膨润土，感觉其中的铝含量太低了，不知道是什么原因。
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3楼2016-06-15 12:42:59
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