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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射铝中发现的问题
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i3super

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射铝中发现的问题

请教各位大神，我在硅衬底上做磁控溅射镀铝后，膜为白色，请教这是什么原因导致的，是不是不够致密的原因，以及改进方法，多谢
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1楼 2016-06-13 08:42:28
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sony8620

铁杆木虫 (文学泰斗)
★
i3super(金币+1): 谢谢参与
加油

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8楼2016-06-13 09:14:25
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
在扫描电镜视场下用EDS能谱定性地打一下膜的成份看看。
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12楼2016-06-13 15:12:17
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匿名


★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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13楼2016-08-05 16:05:54
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qinlilu_276

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镀膜环境不纯，有反应气体混入

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14楼2016-08-05 16:09:23
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huzhenyang

新虫 (小有名气)
氧化了吗

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15楼2016-08-06 09:14:07
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fdzjm2楼
2016-06-13 08:48   回复  
i3super(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
zhchzhsh20763楼
2016-06-13 08:57   回复  
i3super(金币+1): 谢谢参与
祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福祝福
wtbccq5054楼
2016-06-13 09:04   回复  
i3super(金币+1): 谢谢参与
hydzp5楼
2016-06-13 09:06   回复  
i3super(金币+1): 谢谢参与
a
zhoushanqun6楼
2016-06-13 09:08   回复  
i3super(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
浅语若水7楼
2016-06-13 09:11   回复  
i3super(金币+1): 谢谢参与
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ZJJ20079楼
2016-06-13 09:18   回复  
i3super(金币+1): 谢谢参与
shenrenren10楼
2016-06-13 09:20   回复  
i3super(金币+1): 谢谢参与
在等我一会11楼
2016-06-13 09:24   回复  
i3super(金币+1): 谢谢参与
gg
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