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mao1643

金虫 (初入文坛)

[求助] PET变形已有2人参与

在磁控溅射ITO过程中,当功率超过30w后,PET出现变形,请问一下如何处理让PET在60-70w下不变形
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南京的李工

禁言 (文坛精英)

【答案】应助回帖

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mao1643: 金币+10 2016-09-09 17:30:23
呵呵
PET加玻纤后就OK了。
3楼2016-05-31 22:36:16
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
mao1643: 金币+10 2016-09-09 17:30:15
mao1643: 金币+30 2016-09-09 17:30:49
PET在靶材溅射功率变大后发生变形,说明此系PET温升过高所致。要使其高溅射功率下不变形就需要结合机器结构设计一套有效装置以对靶材和PET等进行有效的冷却方可达到目的。
2楼2016-05-31 18:17:04
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mao1643

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-31 18:17:04
PET在靶材溅射功率变大后发生变形,说明此系PET温升过高所致。要使其高溅射功率下不变形就需要结合机器结构设计一套有效装置以对靶材和PET等进行有效的冷却方可达到目的。

磁控溅射仪器已经定型了,不能设计其他的冷却系统了,还有没有其他方法
4楼2016-06-01 15:45:32
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mao1643

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 南京的李工 at 2016-05-31 22:36:16
呵呵
PET加玻纤后就OK了。

如何加玻纤呢
5楼2016-06-01 15:46:12
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