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原子层沉积ZnO
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| 我在Si基底上沉积ZnO，前躯体为二乙基锌和水，沉积温度为120℃。最近腔体被污染了（一块无尘布在300多度有些化在了腔体里），我们自己打磨了腔体之后发现ZnO再也沉积不上了。由于其他氧化物的沉积没有受到影响，怀疑是否二乙基锌变质了。二乙基锌买来有两个月了，想请问用过二乙基锌的朋友，如何检测二乙基锌是否变质。它的储存温度有严格要求吗？万分感谢。 |
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