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腐蚀测试
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p型硅片掺杂磷后，想通过四探针来测试其方阻随腐蚀深度的变化，但是测试结果就是随腐蚀的进行，方阻未发生变化，这是为什么？？？哪位大神指导一下，跪求 |
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jixiangbao
管理员
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ynn123(金币+1): 谢谢参与
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2楼2016-05-26 21:33:37
胤熙wenber
管理员
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3楼2016-05-26 21:40:51
huyingru
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4楼2016-05-27 13:15:48
5楼2016-05-27 13:56:09
伽鲁特
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我们假设你的样品朝上的那面就是正方形（便于分析），那么它的电阻就是它的方块电阻对吧？它本身的电阻有多大与我从那个方向上测，用什么方式测没关系对吧？那我要是从z轴方向测，就像是两个小电阻串联一个pn结区，结区那部分电阻比较大，也就是说你腐蚀掉的部分跟它比可以忽略不计。也就是在你腐蚀掉结区之前，电阻没有较大变化。这全是我自己瞎分析的，说的要是不对你别生气哈 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2016-05-27 23:41:03
