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guotao019

新虫 (著名写手)

[求助] 欧姆接触退火后表面金属凸起是什么原因导致的? 已有1人参与

欧姆接触用的金属为Ti和Pt,磁控溅射上去的,都是耐高温金属。在1000℃/3min退火后表面如下图
请问这可能是什么原因导致的?

欧姆接触退火后表面金属凸起是什么原因导致的?
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

压的太狠,合金共融析出?

发自小木虫Android客户端
慎独
2楼2016-05-24 23:12:32
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guotao019

新虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-05-24 23:12:32
压的太狠,合金共融析出?

压的太狠?什么意思?

发自小木虫Android客户端
3楼2016-05-24 23:36:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是用Ti和硅做欧姆接触吗?
退火温度太高了,Ti扩散光了吧。
你确定是凸起?而不是因为高温造成的各种分布不均匀的扩散?
4楼2016-05-26 11:17:47
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guotao019

新虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-05-26 11:17:47
是用Ti和硅做欧姆接触吗?
退火温度太高了,Ti扩散光了吧。
你确定是凸起?而不是因为高温造成的各种分布不均匀的扩散?

是Ni/Ti/Pt和碳化硅的欧姆接触,Ni是第一层,厚度依次是50/50/200nm。从显微镜里看是金属鼓球凸起,金属是磁控溅射的,应该不存在高温造成各种分布不均匀的扩散的情况
5楼2016-05-26 11:45:45
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xiangfeia

禁虫 (初入文坛)

本帖内容被屏蔽

6楼2016-05-26 12:02:59
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SONG94

新虫 (小有名气)

我现在也在做金半接触   能交流下吗

发自小木虫Android客户端
7楼2016-05-27 19:36:25
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翰军

银虫 (知名作家)


镍钛合金化了?
8楼2016-06-02 09:41:38
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