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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 欧姆接触退火后表面金属凸起是什么原因导致的？
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guotao019

新虫 (著名写手)

[求助] 欧姆接触退火后表面金属凸起是什么原因导致的？ 已有1人参与

欧姆接触用的金属为Ti和Pt，磁控溅射上去的，都是耐高温金属。在1000℃/3min退火后表面如下图
请问这可能是什么原因导致的？

欧姆接触退火后表面金属凸起是什么原因导致的？
N18X50BEI02.jpg
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1楼 2016-05-24 16:40:56
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)
压的太狠，合金共融析出？

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慎独
2楼2016-05-24 23:12:32
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 叫我小川兄吧 at 2016-05-24 23:12:32
压的太狠，合金共融析出？

压的太狠？什么意思？

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3楼2016-05-24 23:36:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是用Ti和硅做欧姆接触吗？
退火温度太高了，Ti扩散光了吧。
你确定是凸起？而不是因为高温造成的各种分布不均匀的扩散？
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4楼2016-05-26 11:17:47
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guotao019

新虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2016-05-26 11:17:47
是用Ti和硅做欧姆接触吗？
退火温度太高了，Ti扩散光了吧。
你确定是凸起？而不是因为高温造成的各种分布不均匀的扩散？

是Ni/Ti/Pt和碳化硅的欧姆接触，Ni是第一层，厚度依次是50/50/200nm。从显微镜里看是金属鼓球凸起，金属是磁控溅射的，应该不存在高温造成各种分布不均匀的扩散的情况
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5楼2016-05-26 11:45:45
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xiangfeia

禁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
6楼2016-05-26 12:02:59
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SONG94

新虫 (小有名气)
我现在也在做金半接触   能交流下吗

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7楼2016-05-27 19:36:25
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翰军

银虫 (知名作家)
镍钛合金化了？
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8楼2016-06-02 09:41:38
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