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sdela

铁虫 (正式写手)

[求助] 湿法和干法刻蚀目前能达到的最高的精度是多少 已有1人参与

湿法和干法刻蚀目前能达到的最高的精度是多少
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x爱上在路上

铁杆木虫 (著名写手)

2楼2016-05-21 07:59:18
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

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sdela: 金币+5, 有帮助 2016-05-26 18:24:59
sdela(红舟流星代发): 金币+20, 代扣代发金币 2017-10-10 09:24:00
湿法腐蚀见过做过1um的,而且是腐蚀很薄的金属。
干刻最细,10nm以下。
3楼2016-05-23 15:25:46
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sdela

铁虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2016-05-23 15:25:46
湿法腐蚀见过做过1um的,而且是腐蚀很薄的金属。
干刻最细,10nm以下。

干法是用具体什么方法?反应离子刻蚀还是什么的?能给个文献吗?具体点?
4楼2016-05-26 18:25:42
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