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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » ICP刻蚀GaN速度与相应条件求助
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)

[求助] ICP刻蚀GaN速度与相应条件求助

各位大侠好，本人新手学习ICP相关知识，我想了解一下ICP刻蚀GaN的速度与刻蚀该速度的对应条件（一般的对应关系就好），有知道的大神望告知，小弟在此谢谢各位了
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1楼 2016-05-18 14:42:11
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zjq1991

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yueyxk at 2016-05-18 16:43:52
知网找了大半天了没找到，搜资料技术还是有点渣，你们都是在哪里查的呢？...

谷歌学术或者web of science，搜论文

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9楼2016-05-18 16:49:09
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zjq1991

铁虫 (正式写手)
看你用什么等离子体

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2楼2016-05-18 15:06:05
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zjq1991

铁虫 (正式写手)
我测过sicl4等离子体刻蚀gan，功率和偏压都是100w速率是0.772nm/s

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3楼2016-05-18 15:19:36
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zjq1991 at 2016-05-18 15:06:05
看你用什么等离子体

用这个   Cl2/Ar/BCl3
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4楼2016-05-18 15:38:32
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zjq1991 at 2016-05-18 15:19:36
我测过sicl4等离子体刻蚀gan，功率和偏压都是100w速率是0.772nm/s

有试过Cl2/Ar/BCl3等离子体刻蚀吗？
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5楼2016-05-18 15:40:06
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zjq1991

铁虫 (正式写手)
没试过

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6楼2016-05-18 16:08:17
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zjq1991

铁虫 (正式写手)
试过单独cl2的，具体的你可以查论文啊，很多的

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7楼2016-05-18 16:19:41
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by zjq1991 at 2016-05-18 16:19:41
试过单独cl2的，具体的你可以查论文啊，很多的

知网找了大半天了没找到，搜资料技术还是有点渣，你们都是在哪里查的呢？
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8楼2016-05-18 16:43:52
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by zjq1991 at 2016-05-18 16:49:09
谷歌学术或者web of science，搜论文
...

谢谢了
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10楼2016-05-18 17:05:12
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