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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)

[求助] ICP刻蚀GaN速度与相应条件求助

各位大侠好,本人新手学习ICP相关知识,我想了解一下ICP刻蚀GaN的速度与刻蚀该速度的对应条件(一般的对应关系就好),有知道的大神望告知,小弟在此谢谢各位了
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zjq1991

铁虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by yueyxk at 2016-05-18 16:43:52
知网找了大半天了没找到,搜资料技术还是有点渣,你们都是在哪里查的呢?...

谷歌学术或者web of science,搜论文

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9楼2016-05-18 16:49:09
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zjq1991

铁虫 (正式写手)

2楼2016-05-18 15:06:05
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zjq1991

铁虫 (正式写手)

我测过sicl4等离子体刻蚀gan,功率和偏压都是100w速率是0.772nm/s

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3楼2016-05-18 15:19:36
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjq1991 at 2016-05-18 15:06:05
看你用什么等离子体

用这个   Cl2/Ar/BCl3
4楼2016-05-18 15:38:32
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zjq1991 at 2016-05-18 15:19:36
我测过sicl4等离子体刻蚀gan,功率和偏压都是100w速率是0.772nm/s

有试过Cl2/Ar/BCl3等离子体刻蚀吗?
5楼2016-05-18 15:40:06
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zjq1991

铁虫 (正式写手)

6楼2016-05-18 16:08:17
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zjq1991

铁虫 (正式写手)

试过单独cl2的,具体的你可以查论文啊,很多的

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7楼2016-05-18 16:19:41
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by zjq1991 at 2016-05-18 16:19:41
试过单独cl2的,具体的你可以查论文啊,很多的

知网找了大半天了没找到,搜资料技术还是有点渣,你们都是在哪里查的呢?
8楼2016-05-18 16:43:52
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yueyxk

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
9楼: Originally posted by zjq1991 at 2016-05-18 16:49:09
谷歌学术或者web of science,搜论文
...

谢谢了
10楼2016-05-18 17:05:12
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