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铁虫 (初入文坛)

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[求助] HPPMS磁控溅射的相关问题，求大神指导

用调制脉冲磁控溅射制备AlMgTiB涂层，靶材表面有辉光，电源面板有显示平均电流，但是示波器采集的电流信号没有脉冲电流是什么原因呢？

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1楼 2016-05-18 10:47:25

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