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HPPMS磁控溅射的相关问题,求大神指导
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| 用调制脉冲磁控溅射制备AlMgTiB涂层,靶材表面有辉光,电源面板有显示平均电流,但是示波器采集的电流信号没有脉冲电流是什么原因呢? |
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