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chenxisuiyu

新虫 (初入文坛)

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[求助] 相同条件下磁控溅射ZnO和AZO的电阻率哪个高？已有1人参与

如题：相同条件下磁控溅射ZnO和AZO的电阻率哪个高？急求！！!

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1楼 2016-05-17 11:17:27

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ap0404422

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 6796494
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【答案】应助回帖

在磁控溅射中，ZnO一般使用金属进行氧化混合溅射，而AZO使用氩气纯溅射，两者的成膜质量还是有所区别的，在相同膜厚下，ZnO的电阻要低些。

2楼2017-06-21 13:44:31

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