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关于退火炉退火问题 已有3人参与
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各位虫友，最近在做TCO薄膜退火问题研究，想问问大家，保温时间到了之后的降温过程中，能否直接将管式退火炉的盖子打开一部分，这样散热更快。 这样降温速度对薄膜电学、光学性能有什么影响么？ 谢谢各位 |
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7楼2016-05-18 22:05:37
2楼2016-05-16 16:53:20
3楼2016-05-17 10:36:33
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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薄膜退火而且用于电学光学，最好采用配有专门的快速退火炉。否则采用这样的方式降温不可控，实验的重复性就有问题了，并且，这种方式降温的降温速率和退火的最高温度有关。 发自小木虫Android客户端 |
4楼2016-05-17 14:27:12
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