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jfwuliao000

铁虫 (小有名气)

[求助] Pvd,cvd镀膜 已有2人参与

小弟想请问各位大牛一些问题。
请问有在金属上沉积硼，硼化碳等硼化物吗？表面的状态怎么样？或者用其他镀膜方法镀？
还有在pvd,cvd方面的大牛国内外都有哪些？

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薄膜制备与特性

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相信自己
1楼 2016-05-15 11:58:19
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1. 我在单晶Si，WC和高速钢表面做过Boride （Al-Mg-B）。
用磁控溅射做的，因为薄膜非常薄，非常平整，非晶，SEM不是很容易观察，TEM还好。

2. BTW, 金属基体上的boride形貌一样。

不知你想要什么样子的？？
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4楼2016-05-24 09:06:15
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翰军

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你是做硼纤维，或者表面的氮化硼涂层！
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2楼2016-05-16 08:55:57
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jfwuliao000

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 翰军 at 2016-05-16 08:55:57
你是做硼纤维，或者表面的氮化硼涂层！

不是，我不做这方面，但是需要用到一些，课题需要。

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相信自己
3楼2016-05-16 13:03:49
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jfwuliao000

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by qwcmos at 2016-05-24 09:06:15
1. 我在单晶Si，WC和高速钢表面做过Boride （Al-Mg-B）。
用磁控溅射做的，因为薄膜非常薄，非常平整，非晶，SEM不是很容易观察，TEM还好。

2. BTW, 金属基体上的boride形貌一样。

不知你想要什么样子的？？

一般的pvd设备都能沉积硼化物吗？

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相信自己
5楼2016-05-28 01:43:18
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